2021/11/09
ID: 2563

Nunca más obleas oxidadas

Producción libre de oxígeno con el sistema de purga N2

En el transporte y almacenamiento de obleas en la industria de los semiconductores, el sistema de purga N2 de Festo evita que el oxígeno oxide las obleas. Para ello, el económico regulador de caudal premontado suministra nitrógeno inerte de forma constate al depósito de la oblea (FOUP).

El sistema de purga N2 de Festo está adaptado de forma óptima a los requisitos y condiciones generales de la fabricación moderna de semiconductores. La solución de sistema integrada contempla tanto las habituales condiciones reducidas de espacio en las instalaciones de producción, como los exigentes requisitos de calidad en el utillaje. Por último, la solución de Festo ofrece ventajas decisivas en términos de la sensibilidad de costes asociada a los breves ciclos de innovación de la industria electrónica: la adquisición y la operación son económicas.

 

Los costes de montaje y de tubos, así como los tiempos de prueba, se reducen, ya que el usuario obtiene una unidad funcional premontada en lugar de varios componentes por separado. Se eliminan los gastos de una tubería de acero inoxidable adicional con conexiones roscadas. Para transportar la oblea de forma segura, existe la posibilidad de integrar el regulador de caudal en un sistema de transporte elevado.

 

Larga vida útil sin desgaste

El diseño de la válvula piezoeléctrica reduce el riesgo de contaminación del flujo de gas por abrasión de partículas a lo largo de la vida útil. El valor máximo se halla en aprox. una partícula de 0,1 micrómetro por conmutación. Las soluciones convencionales generan un contenido de partículas cinco veces mayor. El empleo de tecnología piezoeléctrica evita el desgaste por fricción. Esto permite aumentar significativamente la vida útil de la válvula. En comparación con las soluciones convencionales, esto se traduce en un ahorro notable de los costes de funcionamiento y mantenimiento.

 

Estanco y económico

El compacto regulador de caudal dispone de tan solo dos conexiones neumáticas, lo que disminuye el riesgo de fugas. El consumo de energía es inferior a un vatio. En ambos casos, se trata de un ahorro del 80 % en comparación con las soluciones convencionales como, por ejemplo, las válvulas de regulación proporcional. El circuito de regulación cerrado permite un comportamiento exacto, estable y lineal del caudal, sin histéresis. La precisión de repetición se halla en un +/-0,25 % del valor de consigna.

Festo es un actor global y una empresa familiar independiente con sede en Esslingen am Neckar (Alemania). Desde sus inicios, Festo ha marcado pautas en la tecnología de automatización industrial y en la formación técnica, contribuyendo así al desarrollo sostenible del medio ambiente, la economía y la sociedad. La empresa suministra tecnología de automatización neumática y eléctrica a 300.000 clientes de automatización de fábricas y procesos en más de 35 sectores. El sector LifeTech, con la tecnología médica y la automatización de laboratorios, es cada vez más importante. Los productos y servicios están disponibles en 176 países de todo el mundo. En todo el mundo, unos 20.800 empleados en cerca de 60 países con más de 250 sucursales generaron unas ventas de aproximadamente 3.810 millones de euros en 2022. De esta cantidad, alrededor del 7% se invierte anualmente en investigación y desarrollo. En la empresa de aprendizaje, las medidas de formación y desarrollo representan el 1,5% de la facturación. Festo Didactic SE es un proveedor líder de educación y formación técnica y ofrece a sus clientes de todo el mundo soluciones integrales de aprendizaje digital y físico en el entorno industrial.

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Purga N2
En el transporte y almacenamiento de obleas en la industria de los semiconductores, el sistema de purga N2 de Festo evita que el oxígeno oxide las obleas.

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