VTEP - Einsatz bei der Photolithographie

Ventile wie VTEP dienen auch als Vorsteuerventile für Medienventile. Bei der Photolithographie zum Beispiel müssen Wafer sehr präzise mit einem lichtresistenten Lack benetzt werden. Eine Rücksaugfunktion sorgt dafür, dass kein überschüssiger Lack austritt.