Die steigende Nachfrage nach spezialisierten Halbleitern, von MEMS oder SIC PowerChip bis hin zum 2Nm GPU/KI-Beschleuniger, erhöhen den Druck auf Fabs und OEMs, Ihre Anlagen wirtschaftlich und mit hoher Prozessstabilität und Wiederholgenauigkeit zu betreiben. Mit Lösungen auf Basis von Controlled Pneumatics, einer neuen Generation digital geregelter Pneumatiktechnologie, unterstützt Festo Maschinenbauer und Hersteller von Halbleitern dabei, die Prozessstabilität zu optimieren und dabei die eingesetzten Medien und den Energieverbrauch zu...

Überall, wo inerte Gase präzise gesteuert werden müssen, ist der Massendurchflussregler VEFC von Festo genau richtig. Dank Piezotechnologie ist er kompakt sowie flexibel und zeichnet sich durch ein gutes Preis-Leistungs-Verhältnis aus. Prädestiniert ist er für den Einsatz in der Elektronikfertigung, bei der Nahrungsmittelherstellung und überall dort im Maschinenbau, wo Schutzgas benötigt wird.

Controlled Pneumatics ist die revolutionäre Drucklufttechnologie, mit der Festo der Pneumatik neue Perspektiven verleiht. Mit dieser Technologie erreicht die kompakte Proportional-Ventilinsel VTEP eine äußerst sensible Druckregelung bis unter 1 mbar – ideal für Einsatzfelder wie das Polieren von Wafern oder Patch-Clamp-Anwendungen in Life Science. Darüber hinaus senkt Controlled Pneumatics mit hochpräzisen Piezoventilen den Verbrauch von Druckluft um bis zu 50 %.

Die Herstellung von Reifen und die von Wafern scheinen so gar nichts miteinander zu tun zu haben. Bezüglich der Automatisierungstechnik greifen sie aber auf dieselbe Technologie zurück: auf die geregelte Pneumatik. Festo hat dazu die Drucklufttechnik so weiterentwickelt, dass die Pneumatik nachhaltig, ressourcenschonend und energieeffizient wird.