Precise control of inert gases
Wherever inert gases need to be precisely controlled, the mass flow controller VEFC from Festo is the right choice. Thanks to piezo technology, it is compact and flexible, and offers an excellent price/performance ratio. It is especially suitable for use in electronics manufacturing, food production, and anywhere in machine building where shielding gas is required.
The mass flow controller VEFC from Festo is one of the most compact on the market, while capable of a flow rate of 200 l/min. Thanks to digitalization, the flow rate remains constant. This means that this dynamic, directly controlled piezo valve for inert gases doesn't have to be adjusted manually. It only takes milliseconds to precisely adjust the flow rates and their settings, and they remain tamper-proof. This provides users with the flexibility they need for their production processes. In addition, the VEFC allows them to continuously monitor processes since the flow rate and output pressure are always transparent.
Reliable protection of wafers
Reliably controlling the flow of inert gases such as nitrogen is particularly important in the semicon industry in order to avoid damaging wafers. By focusing on inert gases without media separation, the VEFC proves to be a favorable alternative to other solutions on the market when controlling nitrogen in load ports or EFEMs.
Economical, reliable, and precise N2 purging
Different flow rates can be controlled in the individual purge steps by having VEFC in the load port. It ensures that only the absolutely necessary amount of nitrogen is used, whether during pre-blowing, pre-purge, process purge and post-purge. Users thus save nitrogen and shorten the processing time until the dry shielding gas atmosphere has been reached.
Festo ist gleichzeitig Global Player und unabhängiges Familienunternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar. In der industriellen Automatisierungstechnik und technischen Bildung setzt Festo seit seinen Anfängen Maßstäbe und leistet damit einen Beitrag zu einer nachhaltigen Entwicklung von Umwelt, Wirtschaft und Gesellschaft. Das Unternehmen liefert pneumatische und elektrische Automatisierungstechnik für 300.000 Kunden der Fabrik- und Prozessautomatisierung in über 35 Branchen. Wachsende Bedeutung erhalten Bereiche wie Digitalisierung, KI sowie LifeTech mit Medizintechnik- und Laborautomation. Produkte und Services sind in 176 Ländern der Erde erhältlich. Weltweit rund 20.600 Mitarbeitende in rund 60 Ländern mit über 250 Niederlassungen erwirtschafteten 2023 einen Umsatz von ca. 3,65 Mrd. €. Davon werden jährlich rund 7 % in Forschung und Entwicklung investiert. Im Lernunternehmen beträgt der Anteil der Aus- und Weiterbildungsmaßnahmen 1,5 % vom Umsatz. Festo Didactic SE ist führender Anbieter in technischer Aus- und Weiterbildung und bietet seinen Kunden weltweit umfassende digitale und physische Lernlösungen im industriellen Umfeld an.
