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Processi di movimentazione dei wafer integrati per una maggiore efficienza e precisione
Al centro dell’esposizione presso lo stand di Festo c’è una cella di movimentazione, la cosiddetta camera di trasferimento, che simula il percorso di un wafer attraverso diverse fasi di processo. Il punto di partenza è un contenitore di trasporto standard per substrati, il cosiddetto FOUP (Front Opening Unified Pod), dal quale vengono prelevati i wafer.
In questo contesto, Festo punta su un sistema a portale invertito come alternativa economica ai classici robot SCARA. Il sistema consente il prelievo preciso e il trasporto dei wafer tra le stazioni di stoccaggio e quelle di lavorazione.
Un elemento di particolare rilievo è l’effettore terminale utilizzato, dotato di allineatore per wafer integrato. Esso combina la presa e il posizionamento in un’unica soluzione compatta. Ciò consente di ridurre lo spazio di installazione e la complessità dell’impianto, garantendo al contempo un allineamento preciso.
Processi chimico-umidi e rivestimento
Già prima del prelievo, un lavaggio con azoto del FOUP, effettuato tramite un regolatore di portata massica di Festo, garantisce un ambiente controllato e a bassa contaminazione. Successivamente, il wafer viene convogliato verso una stazione di rivestimento. Qui, un asse lineare elettrico sposta con precisione un ugello di dosaggio sopra il wafer.
Precisione per i processi sotto vuoto
In una fase successiva, il wafer viene trasportato verso un’applicazione sotto vuoto, come quella utilizzata, ad esempio, nell’incisione a secco. L’impianto dimostra come una tecnologia speciale di Festo controlli e azioni delicatamente una valvola di trasferimento del wafer (gate valve), per trasferire il wafer nella camera a vuoto con vibrazioni minime e senza particelle.
All’interno della camera, un sistema pneumatico Pin-Lift solleva il wafer senza urti su un mandrino per wafer. Al termine del processo, il sistema solleva nuovamente il wafer dal mandrino con estrema delicatezza e con controllo della forza.
Un sistema di microposizionamento pneumatico posiziona componenti come gli anelli di messa a fuoco con precisione micrometrica. In questo modo, Festo illustra come le soluzioni di automazione integrate possano contribuire ad aumentare la produttività, la stabilità di processo e la qualità nella moderna produzione di semiconduttori.
Qualificazione necessaria
Festo Didactic offre programmi di formazione mirati. L’offerta comprende corsi pratici “hands-on” presso gli stabilimenti, l’allestimento di fabbriche didattiche interne all’azienda e contenuti formativi digitali sulla piattaforma Festo Learning Experience (Festo LX), anche sul tema della sostenibilità.
Festo alla Semicon Europa di Monaco di Baviera: padiglione C1, stand C1337
Festo è un attore globale e un'azienda indipendente a conduzione familiare con sede a Esslingen am Neckar, in Germania. Fin dagli inizi Festo ha stabilito degli standard nella tecnologia dell'automazione industriale e nella formazione tecnica, contribuendo così allo sviluppo sostenibile dell'ambiente, dell'economia e della società. Prodotti e servizi sono disponibili in 176 paesi del mondo. L'azienda, infatti, fornisce tecnologia di automazione pneumatica ed elettrica a 300.000 clienti di automazione di fabbrica e di processo in oltre 35 industrie. Il settore LifeTech con la tecnologia medica e l'automazione di laboratorio sta diventando sempre più importante. Con circa 20.600 dipendenti in oltre 250 filiali in circa 60 paesi in tutto il mondo, Festo ha realizzato un fatturato di circa 3,33 miliardi di euro nel 2025. Ogni anno oltre l'8% di questo fatturato viene investito in ricerca e sviluppo, mentre l'1,5 % del fatturato è investito nella formazione di base e di perfezionamento. Festo Didactic SE è un fornitore leader di formazione e formazione tecnica e offre ai suoi clienti in tutto il mondo soluzioni complete di apprendimento digitale e fisico in ambiente industriale.
