02.02.2024
ID: 4679

Pneumatik macht Technologiesprung mit Piezo

Erste hochpräzise Proportional-Ventilinsel VTEP eröffnet neue Anwendungsfelder

Controlled Pneumatics ist die revolutionäre Drucklufttechnologie, mit der Festo der Pneumatik neue Perspektiven verleiht. Mit dieser Technologie erreicht die kompakte Proportional-Ventilinsel VTEP eine äußerst sensible Druckregelung bis unter 1 mbar – ideal für Einsatzfelder wie das Polieren von Wafern oder Patch-Clamp-Anwendungen in Life Science. Darüber hinaus senkt Controlled Pneumatics mit hochpräzisen Piezoventilen den Verbrauch von Druckluft um bis zu 50 %.

Die hochpräzise und dynamische Regelung mit der ersten Proportional-Ventilinsel VTEP am Markt beschleunigt die Produktion – und sorgt dabei zugleich für eine höhere Qualität der gefertigten Produkte. Damit schafft es Festo, Maschinen und Anlagen besser zu machen, und verhilft beispielsweise der Elektronik- und Halbleiterindustrie, der Textilherstellung oder Batteriefertigung sowie Life Science zu entscheidenden Wettbewerbsvorteilen.

 

Druck oder Vakuum? Beides!

Mit weniger als 120 mm Breite ist VTEP im Markt die kompakteste Proportional-Ventilinsel für die Druckregelung mit 10 Arbeitskanälen. Sie lässt sich einfach für Multikanalanwendungen integrieren – in zwei-, drei- oder fünffacher Variante. Im Regelbereich von 6 bar sind Druck und Vakuum kombinierbar.

 

Die direkt gesteuerte VTEP nutzt die Piezotechnologie, die die Pneumatik mit entsprechender Regelungstechnik hochpräzise, schnell und sparsam macht. Das bringt weitere Vorteile mit sich: Die Ventile sind geräuschlos, verschleißfrei, ohne Partikelabrieb oder Wärmeentwicklung. Außerdem ist die Ventilinsel kupfer-, nickel- und zinkfrei: Dadurch ist sie sehr gut geeignet für die Batterieproduktion und andere Industriesegmente, in denen diese Materialen nicht gewünscht sind.

 

Wafer, Batterien und mehr

Bei der Waferherstellung wird der variable Anpressdruck der einzelnen Polierkammern am Poliergerät hochgenau über Controlled Pneumatics mit VTEP gesteuert. Das gleichmäßige Anpressen sorgt für exzellente Ergebnisse über die komplette Bearbeitungsfläche – auch beim Polieren von empfindlichen Wafern. Ventilinseln vom Typ VTEP können auch als Vorsteuerventile für Medienventile eingesetzt werden. Beispielsweise müssen bei der Photolithographie Wafer präzise mit einem lichtresistenten Lack benetzt werden. Dabei sorgt eine über VTEP gesteuerte Rücksaugfunktion dafür, dass kein überschüssiger Lack austritt.

 

Ebenso eignet sich die Proportional-Ventilinsel VTEP für viele Anwendungsfälle bei der Bahnregelung wie etwa der Herstellung von Batteriefolien. VTEP kommuniziert nahezu in Echtzeit, die Ventile reagieren blitzschnell. Bei unerwarteten Kräften sorgt das perfekte Timing für eine signifikant verbesserte Prozesssicherheit.

 

Festo ist gleichzeitig Global Player und unabhängiges Familienunternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar. In der industriellen Automatisierungstechnik und technischen Bildung setzt Festo seit seinen Anfängen Maßstäbe und leistet damit einen Beitrag zu einer nachhaltigen Entwicklung von Umwelt, Wirtschaft und Gesellschaft. Das Unternehmen liefert pneumatische und elektrische Automatisierungstechnik für 300.000 Kunden der Fabrik- und Prozessautomatisierung in über 35 Branchen. Wachsende Bedeutung erhalten Bereiche wie Digitalisierung, KI sowie LifeTech mit Medizintechnik- und Laborautomation. Produkte und Services sind in 176 Ländern der Erde erhältlich. Weltweit rund 20.800 Mitarbeitende in rund 60 Ländern mit über 250 Niederlassungen erwirtschafteten 2022 einen Umsatz von ca. 3,81 Mrd. €. Davon werden jährlich rund 7 % in Forschung und Entwicklung investiert. Im Lernunternehmen beträgt der Anteil der Aus- und Weiterbildungsmaßnahmen 1,5 % vom Umsatz. Festo Didactic SE ist führender Anbieter in technischer Aus- und Weiterbildung und bietet seinen Kunden weltweit umfassende digitale und physische Lernlösungen im industriellen Umfeld an.

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Proportional-Ventilinsel VTEP
Sehr kompakt: 10 Arbeitskanäle auf einer Breite von weniger als 120 mm
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Polieren von Wafern mit VTEP
Hochpräzises Regeln von 5 Druckzonen für extrem schonendes Polieren von Wafern mit VTEP.
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VTEP - Einsatz bei der Photolithographie
Ventile wie VTEP dienen auch als Vorsteuerventile für Medienventile. Bei der Photolithographie zum Beispiel müssen Wafer sehr präzise mit einem lichtresistenten Lack benetzt werden. Eine Rücksaugfunktion sorgt dafür, dass kein überschüssiger Lack...
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VTEP - Einsatz bei der Batterieproduktion
VTEP eignet sich zum Beispiel für die Bahnregelung von Batteriefolien.
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VTEP - Einsatz beim Patch Clamping
Mit VTEP lassen sich über Druck und Vakuum Anwendungen wie das Patch Clamping von menschlichen Zellen realisieren.