Digitale Präzision für höhere Wafer-Ausbeute
Auf der Semicon Europa 2026 präsentiert Festo Lösungen auf Basis von Controlled Pneumatics, einer neuen Generation digital geregelter Pneumatik-Technologie. Durch die präzise Regelung von Druck, Durchfluss und Bewegung unterstützt die Technologie Maschinenbauer und Halbleiterhersteller dabei, ihre Anlagen effizient und zukunftssicher auszulegen. Das Ergebnis sind mehr Prozesssicherheit, längere Wartungszyklen, reduzierte Vibrationen und Partikelbildung sowie ein gesteigerter Yield bei optimiertem Ressourcenverbrauch und geringeren Betriebskosten.
Dank geschlossener Regelkreise regelt Controlled Pneumatics präzise und stabil ohne Hysterese - beispielsweise umgesetzt im VESC-Ventil von Festo zur Betätigung von Wafer-Transferventilen. Die Wiederholgenauigkeit beträgt ±0,25 % des Sollwerts. Die Partikelgröße pro Schaltvorgang liegt bei lediglich 0,1 µm und damit rund fünfmal niedriger als bei herkömmlichen Proportionaldruckreglern. Darüber hinaus verbrauchen die Ventile bis zu 95 % weniger Energie als vergleichbare Magnetventile. Die präzise Regelung kann zudem den Druckluftverbrauch um bis zu 50 % reduzieren.
Weniger Partikel, längere Lebensdauer von Isolationsventilen
Die Wafer-Transferventile (Gate Valves) übernehmen in Wafer-Fertigungsanlagen eine zentrale Aufgabe. Sie öffnen und schließen beim Transport der Wafer zwischen Load Locks und Prozesskammern. Werden diese Bewegungen zu abrupt ausgeführt, entstehen Stöße und Vibrationen, die Verschleiß beschleunigen und Partikel freisetzen können.
Mit dem VESC-Ventil bietet Festo auch eine Lösung für die gezielte Bewegungssteuerung von ISO-Ventilen. Das Ventil ermöglicht sanfte Start- und Stoppbewegungen bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit im mittleren Hubbereich. Dadurch lassen sich mechanische Belastungen reduzieren, die Lebensdauer von Komponenten verlängern und die Partikelbildung minimieren.
Wafer schützen und Stickstoffverbrauch senken
Während Lagerung und Transport werden Wafer in sogenannten Front-Opening Unified Pods (FOUPs) aufbewahrt. Um die empfindlichen Bauteile vor Sauerstoff- und Partikelkontamination zu schützen, ist eine kontrollierte Stickstoffatmosphäre erforderlich.
Der Massendurchflussregler VEFC von Festo regelt den Stickstoffdurchfluss kontinuierlich und präzise auf den jeweils benötigten Sollwert. Dadurch kann der Durchfluss pro FOUP reduziert werden. Im Vergleich zu herkömmlichen Lösungen lassen sich Einsparungen von bis zu 75 Prozent erzielen. In großen Wafer-Fabs lässt sich der gesamte Stickstoffverbrauch um bis zu 18 Prozent senken.
Für Anwendungen mit mehreren FOUP-Positionen bietet Festo den Mehrkanal-Massendurchflussregler VTEP an. Statt an jedem Spülpunkt einen eigenen Regler zu installieren, können mehrere Purge-Prozesse über eine zentrale EtherCAT-fähige Ventilinsel mit zwei, fünf oder acht Kanälen gesteuert werden. Dies vereinfacht die Maschinenarchitektur und reduziert den Installationsaufwand.
Qualifizierung notwendig
Gezielte Weiterbildungsprogramme kommen von Festo Didactic. Das Angebot umfasst praktische Trainings in den Werken, den Aufbau unternehmensinterner Lernfabriken sowie digitale Lerninhalte auf der Festo Learning Experience (Festo LX) – auch zum Thema Nachhaltigkeit.
Festo auf der Semicon Europa in München: in Halle C1 am Stand C1337
Festo ist gleichzeitig Global Player und unabhängiges Familienunternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar. In der industriellen Automatisierungstechnik und technischen Bildung setzt Festo seit seinen Anfängen Maßstäbe und leistet damit einen Beitrag zu einer nachhaltigen Entwicklung von Umwelt, Wirtschaft und Gesellschaft. Das Unternehmen liefert pneumatische und elektrische Automatisierungstechnik für 300.000 Kunden der Fabrik- und Prozessautomatisierung in über 35 Branchen. Wachsende Bedeutung erhalten Bereiche wie Digitalisierung, KI sowie LifeTech mit Medizintechnik- und Laborautomation. Produkte und Services sind in 176 Ländern der Erde erhältlich. Weltweit rund 20.600 Mitarbeitende in rund 60 Ländern mit über 250 Niederlassungen erwirtschafteten 2025 einen Umsatz von ca. 3,33 Mrd. €. Davon werden jährlich über 8 % in Forschung und Entwicklung investiert. Im Lernunternehmen beträgt der Anteil der Aus- und Weiterbildungsmaßnahmen 1,5 % vom Umsatz. Festo Didactic SE ist führender Anbieter in technischer Aus- und Weiterbildung und bietet seinen Kunden weltweit umfassende digitale und physische Lernlösungen im industriellen Umfeld an.
