Wenn es in der Halbleiterindustrie um den Transport und die Lagerung von Wafern geht, verhindert das N2 Purge-System von Festo, dass Sauerstoff die Wafer oxidieren lässt.
Innovations- und Preisdruck: In keiner Branche ist dieser so hoch wie in der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Dazu sind zuverlässige kleinbauende und kostengünstige Automatisierungskomponenten notwendig.
Kontaktfreies Dosieren kleinster Volumina: Der 8-kanalige Dosierkopf VTOE ist eine konfigurierbare Komplettlösung aus Kanalplatte, Dosierventilen und Düsen.