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Procesos integrales de manipulación de obleas para una mayor eficiencia y precisión
El elemento central de una de las exposiciones del stand de Festo es una célula de manipulación, la denominada «cámara de transferencia», que simula el recorrido de una oblea a lo largo de las distintas etapas del proceso. El punto de partida es un contenedor de transporte de uso industrial para sustratos, el denominado FOUP (Front Opening Unified Pod), del que se extraen las obleas.
En este sentido, Festo apuesta por un sistema de pórtico invertido como alternativa económica a los robots SCARA clásicos. El sistema permite una extracción precisa y el transporte de las obleas entre las estaciones de almacenamiento y de proceso.
Un aspecto especialmente destacado es el efector final utilizado, que cuenta con un alineador de obleas integrado. Este combina la sujeción y el posicionamiento en una solución compacta. De este modo, se reduce el espacio de instalación y la complejidad de la instalación, al tiempo que se garantiza una alineación precisa.
Procesos químicos en húmedo y recubrimiento
Ya antes de la extracción, un purga de nitrógeno del FOUP, mediante un regulador de caudal másico de Festo, garantiza un entorno controlado y con bajo nivel de contaminación. A continuación, la oblea se conduce a una estación de recubrimiento. Allí, un eje lineal eléctrico desplaza con precisión una boquilla dosificadora sobre la oblea.
Precisión para procesos al vacío
En un paso posterior, la oblea se transporta a una aplicación de vacío, como la que se utiliza, por ejemplo, en el grabado en seco. La instalación muestra cómo una tecnología especial de Festo controla y acciona con suavidad una válvula de transferencia de obleas (Gate Valve) para trasladar la oblea a la cámara de vacío sin vibraciones y libre de partículas.
Dentro de la cámara, un sistema neumático de elevación por pasadores (Pin-Lift) coloca la oblea sobre un mandril sin que se produzcan sacudidas. Una vez finalizado el proceso, el sistema retira la oblea del mandril de forma especialmente cuidadosa y con control de la fuerza aplicada.
Un sistema neumático de microposicionamiento coloca componentes como los anillos de enfoque con una precisión micrométrica. De este modo, Festo ilustra cómo las soluciones de automatización integradas pueden contribuir a aumentar el rendimiento, la estabilidad del proceso y la calidad en la fabricación moderna de semiconductores.
Es necesaria la cualificación
Festo Didactic ofrece programas de formación continua específicos. La oferta incluye cursos prácticos «hands-on» en las plantas, la creación de fábricas de aprendizaje internas en las empresas, así como contenidos de aprendizaje digitales en la Festo Learning Experience (Festo LX), también sobre el tema de la sostenibilidad.
Festo en la feria Semicon Europa de Múnich: pabellón C1, stand C1337
Festo es un actor global y una empresa familiar independiente con sede en Esslingen am Neckar (Alemania). Desde sus inicios, Festo ha marcado pautas en la tecnología de automatización industrial y en la formación técnica, contribuyendo así al desarrollo sostenible del medio ambiente, la economía y la sociedad. La empresa suministra tecnología de automatización neumática y eléctrica a 300.000 clientes de automatización de fábricas y procesos en más de 35 sectores. El sector LifeTech, con la tecnología médica y la automatización de laboratorios, es cada vez más importante. Los productos y servicios están disponibles en 176 países de todo el mundo. En todo el mundo, unos 20.600 empleados en cerca de 60 países con más de 250 sucursales generaron unas ventas de aproximadamente 3.33 millones de euros en 2025. De esta cantidad, más del 8% se invierte anualmente en investigación y desarrollo. En la empresa de aprendizaje, las medidas de formación y desarrollo representan el 1,5% de la facturación. Festo Didactic SE es un proveedor líder de educación y formación técnica y ofrece a sus clientes de todo el mundo soluciones integrales de aprendizaje digital y físico en el entorno industrial.
