Nunca más obleas oxidadas
En el transporte y almacenamiento de obleas en la industria de los semiconductores, el sistema de purga N2 de ...
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En el transporte y almacenamiento de obleas en la industria de los semiconductores, el sistema de purga N2 de Festo evita que el oxígeno oxide las obleas. Para ello, el económico regulador de caudal premontado suministra nitrógeno inerte de forma constate al depósito de la oblea (FOUP).
