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Des processus de manutention des plaquettes de bout en bout pour plus d’efficacité et de précision
Au cœur de l’exposition sur le stand de Festo se trouve une cellule de manutention, appelée « chambre de transfert », qui simule le parcours d’une plaquette à travers différentes étapes du processus. Le point de départ est un conteneur de transport de substrats couramment utilisé dans l’industrie, appelé FOUP (Front Opening Unified Pod), duquel les plaquettes sont extraites.
Festo mise ici sur un système à portique inversé comme alternative économique aux robots Scara classiques. Ce système permet un prélèvement précis et le transport des plaquettes entre les stations de stockage et de traitement.
L’effecteur terminal utilisé, doté d’un aligneur de plaquettes intégré, constitue un atout majeur. Il combine la préhension et le positionnement dans une solution compacte. Cela permet de réduire l’encombrement et la complexité de l’installation, tout en garantissant un alignement précis.
Procédés chimiques en milieu humide et revêtement
Avant même le retrait, un rinçage à l’azote du FOUP, réalisé à l’aide d’un régulateur de débit massique de Festo, garantit un environnement contrôlé et à faible risque de contamination. La plaquette est ensuite acheminée vers une station de revêtement. Là, un axe linéaire électrique déplace avec précision une buse de dosage au-dessus de la plaquette.
Précision pour les procédés sous vide
Dans une étape suivante, la plaquette est acheminée vers une application sous vide, telle que celle utilisée par exemple pour la gravure à sec. L'installation montre comment une technologie spécifique de Festo contrôle et actionne en douceur une vanne de transfert de plaquettes (Gate Valve) afin de transférer la plaquette dans la chambre à vide sans vibrations et sans particules.
À l’intérieur de la chambre, un système pneumatique de levage à broches (Pin-Lift) soulève la plaquette sans à-coups pour la placer sur un mandrin. Une fois le processus terminé, le système retire la plaquette du mandrin avec une grande délicatesse, en contrôlant la force appliquée.
Un système de micropositionnement pneumatique positionne des composants tels que les bagues de mise au point avec une précision de l'ordre du micromètre. Festo illustre ainsi comment les solutions d'automatisation intégrées peuvent contribuer à augmenter le débit, la stabilité des processus et la qualité dans la fabrication moderne de semi-conducteurs.
Qualification requise
Festo Didactic propose des programmes de formation continue ciblés. L'offre comprend des formations pratiques « hands-on » dans les usines, la mise en place d'ateliers de formation en entreprise ainsi que des contenus pédagogiques numériques sur la plateforme Festo Learning Experience (Festo LX) – notamment sur le thème du développement durable.
Festo au salon Semicon Europa à Munich : hall C1, stand C1337
Festo est à la fois un acteur mondial et une entreprise familiale indépendante basée à Esslingen am Neckar en Allemagne. Depuis ses débuts, Festo établit des normes en matière de technologie d'automatisation industrielle et de formation technique, contribuant ainsi au développement durable de l'environnement, de l'économie et de la société. La société fournit une technologie d'automatisation pneumatique et électrique à 300 000 clients d'automatisation d'usine et de processus dans plus de 35 industries. Le secteur LifeTech, avec la technologie médicale et l'automatisation des laboratoires, devient de plus en plus important. Les produits et services sont disponibles dans 176 pays du monde. Dans le monde entier, environ 20 600 employés dans environ 60 pays avec plus de 250 succursales ont généré un chiffre d'affaires d'environ 3,33 milliards d'euros en 2025. Sur ce total, plus de 8 % sont investis chaque année dans la recherche et le développement. Dans l'entreprise apprenante, les mesures de formation et de développement représentent 1,5 % du chiffre d'affaires. Festo Didactic SE est l'un des principaux fournisseurs d'enseignement et de formation techniques et propose à ses clients du monde entier des solutions complètes d'apprentissage numérique et physique dans l'environnement industriel.
