This content was translated automatically.
Naadloze wafer-handlingprocessen voor meer efficiëntie en precisie
Centraal in een opstelling op de beursstand van Festo staat een handlingcel, de zogenaamde transferkamer, die het traject van een wafer door verschillende processtappen simuleert. Het uitgangspunt is een in de industrie gangbare transportcontainer voor substraten, een zogenaamde FOUP (Front Opening Unified Pod), waaruit de wafers worden verwijderd.
Hierbij kiest Festo voor een ‘inverted gantry’-systeem als economisch alternatief voor klassieke SCARA-robots. Het systeem maakt een nauwkeurige uitname en het transport van de wafers tussen opslag- en processtations mogelijk.
Een bijzonder hoogtepunt is de gebruikte eindeffector met geïntegreerde wafer-aligner. Deze combineert grijpen en positioneren in één compacte oplossing. Hierdoor kunnen de benodigde inbouwruimte en de complexiteit van de installatie worden verminderd en wordt een nauwkeurige uitlijning gewaarborgd.
Natchemische processen en coating
Al vóór het uitnemen zorgt een stikstofspoeling van de FOUP met behulp van een massastroomregelaar van Festo voor een gecontroleerde en contaminatiearme omgeving. Vervolgens wordt de wafer naar een coatingstation geleid. Daar beweegt een elektrische lineaire as een doseermondstuk nauwkeurig over de wafer.
Precisie voor vacuümprocessen
In een volgende stap wordt de wafer naar een vacuümtoepassing getransporteerd, zoals die bijvoorbeeld bij droogetsen wordt gebruikt. De installatie laat zien hoe een speciale technologie van Festo een wafer-transferklep (Gate Valve) gecontroleerd en voorzichtig bedient, om de wafer trillingsarm en deeltjesvrij naar de vacuümkamer te transporteren.
Binnen in de kamer tilt een pneumatisch pin-lift-systeem de wafer trillingsvrij op een wafer-chuck. Na afloop van het proces tilt het systeem de wafer weer bijzonder voorzichtig en met krachtcontrole van de chuck af.
Een pneumatisch micropositioneringssysteem positioneert componenten zoals focusringen met micrometerprecisie. Hiermee laat Festo zien hoe geïntegreerde automatiseringsoplossingen kunnen bijdragen aan het verhogen van de doorvoer, de processtabiliteit en de kwaliteit in de moderne halfgeleiderproductie.
Kwalificatie vereist
Festo Didactic biedt gerichte bijscholingsprogramma’s aan. Het aanbod omvat praktische ‘hands-on’-trainingen in de fabrieken, het opzetten van bedrijfsinterne leerfabrieken en digitale leermaterialen op de Festo Learning Experience (Festo LX) – ook op het gebied van duurzaamheid.
Festo op de Semicon Europa in München: hal C1, stand C1337
Festo is a global player and an independent family-owned company with headquarters in Esslingen am Neckar, Germany. Festo has set standards in industrial automation technology and technical education ever since its establishment, thereby making a contribution to sustainable development of the environment, the economy and society. The company supplies pneumatic and electrical automation technology to 300,000 customers of factory and process automation in over 35 industries. Digitalization, AI and the LifeTech sector with medical technology and laboratory automation are becoming increasingly important. The products and services are available in 176 countries. With about 20,600 employees in over 250 branch offices in around 60 countries worldwide, Festo achieved a turnover of around €3.33 billion in 2025. More than 8% of this turnover is invested in research and development. In this learning company, 1.5 % of turnover is invested in basic and further training. Festo Didactic SE is a leading provider of technical education and training and offers its customers worldwide comprehensive digital and physical learning solutions in the industrial environment.
