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贯穿始终的晶圆处理流程，提升效率与精度
Festo展台展品的焦点是一个处理单元——即所谓的“传输室”，该单元模拟了晶圆在各个工艺步骤中的传输路径。 起点是一个工业通用的基板运输容器——即所谓的FOUP（前开式统一容器），晶圆将从其中取出。
在此过程中，Festo采用倒置龙门系统作为传统SCARA机器人的经济型替代方案。该系统能够精确地取出晶圆，并在存储站与工艺站之间进行运输。
其中一大亮点是集成了晶圆对准器的末端执行器。它将抓取和定位功能整合于紧凑的解决方案中。由此既可减少安装空间和设备复杂性，又能确保精确的对准。
湿法工艺与涂层
在取出晶圆之前，通过Festo的质量流量控制器对FOUP进行氮气冲洗，从而确保环境受控且污染极低。随后，晶圆被输送至镀膜工位。在那里，一个电动直线轴将计量喷嘴精确地移动到晶圆上方。
真空工艺的精度
在接下来的步骤中，晶圆被输送至真空应用装置，例如用于干法蚀刻的设备。 该设备展示了Festo的一项特殊技术如何控制并轻柔地操作晶圆传输阀（闸阀），从而将晶圆以低振动、无颗粒的方式转移至真空腔室。
在腔室内，一套气动销式提升系统将晶圆平稳地抬升至晶圆卡盘上，全程无震动。工艺完成后，该系统会在严格监控作用力的情况下，以极其轻柔的方式将晶圆从卡盘上取下。
一套气动微定位系统能够以微米级精度定位聚焦环等组件。通过这一演示，Festo 阐明了集成自动化解决方案如何有助于提升现代半导体制造中的产量、工艺稳定性和产品质量。
必须通过资格认证
Festo Didactic 提供了针对性的继续教育项目。其服务范围包括工厂内的实践“动手”培训、建立企业内部学习工厂，以及 Festo Learning Experience（Festo LX）上的数字学习内容——其中也涵盖了可持续发展主题。
Festo将参加在慕尼黑举办的Semicon Europa展会：C1展厅，C1337展位
费斯托 (Festo)是一家全球性的独立的家族企业，总部位于德国埃斯林根。自成立以来，Festo在工业自动化技术和技术教育方面制定标准，从而为环境、经济和社会的可持续发展做出贡献。公司为超过35个行业的30万家工厂和过程自动化客户提供气动和电驱动自动化技术解决方案，其中生命科学和实验室自动化业务受到越来越多的关注。Festo产品和服务遍布176个国家。2025年，费斯托在全球61个国家的250多个分支机构拥有约20600名员工，实现销售额33.3亿欧元。每年约8%的销售额用于研发。在这家学习型企业，1.5%的销售额用于基础和进一步培训。Festo 教学培训 (Didactic SE) 是全球领先的技术教育和培训供应商，为全球客户提供工业环境中全面的数字化和常规学习解决方案。
