Wenn es in der Halbleiterindustrie um den Transport und die Lagerung von Wafern geht, verhindert das N2 Purge-System von Festo, dass Sauerstoff die Wafer oxidieren lässt.  

Arian Scholz, Leiter Global Key Account Management und Industry Segment Management Electronics, Festo (Foto: Festo SE & Co. KG)

Besonders attraktiv für die Branche: kleinbauende Minischlitten wie der DGST von Festo.  

Innovations- und Preisdruck: In keiner Branche ist dieser so hoch wie in der Halbleiter- und Elektronikindustrie. Dazu sind zuverlässige kleinbauende und kostengünstige Automatisierungskomponenten notwendig.  

Mit dem Ventil-Ansteuermodul VAEM von Festo wird das präzise Schalten von Magnetventilen so einfach wie nie zuvor.

Sichere und präzise Regelung von Gasen: mit dem Proportionalventil VPWS von Festo

Niels Kruize, Business Development, Synchron Lab Automation

CPX-E und Ventilinseln VTUG mit IO-Link übernehmen die Steuerung der Anlage.

Elektrische Achsen EGC in Kombination mit einem elektrischen Schlitten EGSL positionieren den Pipettierkopf für die DNA-Extraktion.