2021/11/09
ID: 2563

No more oxidised wafers

Oxygen-free production with the N2 purge system

When wafers need to be transported and stored in the semiconductor industry, the N2 purge system from Festo prevents oxygen from oxidising the wafers. The cost-efficient, pre-assembled flow controller continuously supplies the wafer reservoir (FOUP) with inert nitrogen for this.

Both the generally restricted space in the production area as well as the strict quality demands for the operating equipment have been taken into consideration in the system solution N2 purge. Costs for assembly and tubing as well as test times are reduced, since the user receives a pre-assembled functional unit instead of several individual components. Expenses for an extra stainless-steel tube with fittings are eliminated. The flow controller can also be integrated into an overhead transport system to transport wafers safely.

 

Long service life, no wear

The design of the piezo valve reduces the risk of contamination in the gas flow caused by particle abrasion over the entire service life. The peak value is approximately for a particle of size 0.1 micrometres per switching cycle. Conventional solutions generate five times the particle content. The piezo technology used prevents wear due to friction, thus considerably lengthening the service life of the valve. In comparison to conventional solutions, this results in significant savings in operation and maintenance.

 

Leak-proof and economical

The compact flow controller has just two pneumatic connections, reducing the risk of leakages. The energy consumption is less than a watt. In both cases that is 80% less than with conventional solutions such as proportional regulators. The closed control loop ensures an accurate, stable and linear behaviour of the flow rate – without hysteresis. The repetition accuracy is +/-0.25% of the setpoint value.

Festo est à la fois un acteur mondial et une entreprise familiale indépendante basée à Esslingen am Neckar en Allemagne. Depuis ses débuts, Festo établit des normes en matière de technologie d'automatisation industrielle et de formation technique, contribuant ainsi au développement durable de l'environnement, de l'économie et de la société. La société fournit une technologie d'automatisation pneumatique et électrique à 300 000 clients d'automatisation d'usine et de processus dans plus de 35 industries. Le secteur LifeTech, avec la technologie médicale et l'automatisation des laboratoires, devient de plus en plus important. Les produits et services sont disponibles dans 176 pays du monde. Dans le monde entier, environ 20 000 employés dans 61 pays avec plus de 250 succursales ont généré un chiffre d'affaires d'environ 2,84 milliards d'euros en 2020. Sur ce total, environ 8 % sont investis chaque année dans la recherche et le développement. Dans l'entreprise apprenante, les mesures de formation et de développement représentent 1,5 % du chiffre d'affaires. Festo Didactic SE est l'un des principaux fournisseurs d'enseignement et de formation techniques et propose à ses clients du monde entier des solutions complètes d'apprentissage numérique et physique dans l'environnement industriel.

© Festo SE & Co. KG
Purge N2
Dans l'industrie des semi-conducteurs, lorsque les wafers doivent être transportés et stockés, le système de purge N2 Festo empêche l'oxygène d'oxyder les plaquettes.  

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