2021/11/24
ID: 2563

Niente più wafer ossidati

Produzione senza ossigeno con il sistema di spurgo N2

Quando i wafer devono essere trasportati e stoccati nell'industria dei semiconduttori, il sistema di spurgo N2 di Festo impedisce all'ossigeno di ossidare i wafer. Il competitivo regolatore di flusso preassemblato fornisce continuamente azoto inerte al serbatoio wafer (FOUP).

Nel sistema di spurgo N2 sono stati presi in considerazione sia lo spazio generalmente limitato nell'area di produzione che i severi requisiti di qualità per le apparecchiature operative. I costi per l'assemblaggio e il tubo, nonché i tempi di test, sono ridotti, poiché l'utente riceve un'unità funzionale preassemblata invece di diversi singoli componenti. Le spese per un tubo extra in acciaio inossidabile con raccordi vengono eliminate. Il controller di flusso può essere integrato in un sistema di trasporto aereo, per trasferire i wafer in sicurezza.

 

Lunga durata, nessuna usura

Il design della valvola piezoelettrica riduce il rischio di contaminazione nel flusso di gas, causata dall'abrasione delle particelle, per l'intera vita utile. Il valore di picco è approssimativamente per una particella di dimensione 0,1 micrometri per ciclo di commutazione. Le soluzioni convenzionali generano cinque volte il contenuto di particelle. La tecnologia piezoelettrica utilizzata previene l'usura per attrito, allungando notevolmente la vita utile della valvola. Rispetto alle soluzioni convenzionali, ciò si traduce in risparmi significativi in ​​termini di funzionamento e manutenzione.

 

A prova di perdite e competitivo

Il controller di flusso compatto ha solo due connessioni pneumatiche, riducendo il rischio di perdite. Il consumo di energia è inferiore a un watt. In entrambi i casi si tratta dell'80% in meno rispetto alle soluzioni convenzionali, come i regolatori proporzionali. Il circuito di controllo chiuso garantisce un comportamento preciso, stabile e lineare della portata, senza isteresi. La precisione di ripetizione è +/- 0,25% del valore di setpoint.

 

www.festo.com/electronics

Festo è sia un attore globale che un'azienda indipendente a conduzione familiare con sede a Esslingen am Neckar in Germania. Fin dagli inizi Festo ha stabilito degli standard nella tecnologia dell'automazione industriale e nella formazione tecnica, contribuendo così allo sviluppo sostenibile dell'ambiente, dell'economia e della società. L'azienda fornisce tecnologia di automazione pneumatica ed elettrica a 300.000 clienti dell'automazione di fabbrica e di processo in oltre 35 industrie. Il settore LifeTech con la tecnologia medica e l'automazione di laboratorio sta diventando sempre più importante. I prodotti e i servizi sono disponibili in 176 paesi del mondo. In tutto il mondo, circa 20.000 dipendenti in 61 paesi con oltre 250 filiali hanno generato un fatturato di circa 2,84 miliardi di euro nel 2020. Di questo, circa l'8% viene investito annualmente in ricerca e sviluppo. Nell'azienda che apprende, le misure di formazione e sviluppo rappresentano l'1,5% del fatturato. Festo Didactic SE è un fornitore leader di istruzione e formazione tecnica e offre ai suoi clienti in tutto il mondo soluzioni complete di apprendimento digitale e fisico nell'ambiente industriale.

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Sistema di spurgo N2
Quando i wafer devono essere trasportati e stoccati nell'industria dei semiconduttori, il sistema di spurgo N2 di Festo impedisce all'ossigeno di ossidare i wafer.

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