Controllo preciso dei gas inerti
Il regolatore di portata in massa VEFC di Festo è uno dei più compatti sul mercato, in grado di gestire un flusso di 200 l/min. Grazie alla digitalizzazione, il flusso rimane costante senza la necessità di regolazioni manuali. Questa valvola piezoelettrica permette di regolare con precisione i flussi e le impostazioni in pochi millisecondi, garantendo la flessibilità necessaria nei processi produttivi. Inoltre, il VEFC consente di monitorare costantemente i processi, poiché il flusso e la pressione di uscita sono sempre trasparenti.
Protezione affidabile dei wafer
Il controllo affidabile del flusso di gas inerti, come l'azoto, è particolarmente importante nell'industria dei semiconduttori, al fine di evitare danni ai wafer. Ll regolatore di portata in massa VEFC di Festo si distingue come un'alternativa vantaggiosa rispetto ad altre soluzioni presenti sul mercato per il controllo dell'azoto nelle porte di carico o negli EFEM, poiché si concentra sui gas inerti senza richiedere la separazione dei media.
Purificazione N2 economica, affidabile e precisa
Con il regolatore di portata in massa VEFC di Festo nella porta di carico, è possibile controllare diversi flussi durante le singole fasi di purificazione. Ciò garantisce l’utilizzo della sola quantità assolutamente necessaria di azoto, durante le varie fasi di pre-soffiaggio, pre-purificazione, purificazione e post-purificazione del processo. Gli utenti risparmiano azoto e riducono il tempo di elaborazione, fino a raggiungere l'atmosfera di gas di protezione asciutto desiderata.
