Precise control of inert gases
Wherever inert gases need to be precisely controlled, the mass flow controller VEFC from Festo is the right choice. Thanks to piezo technology, it is compact and flexible, and offers an excellent price/performance ratio. It is especially suitable for use in electronics manufacturing, food production, and anywhere in machine building where shielding gas is required.
The mass flow controller VEFC from Festo is one of the most compact on the market, while capable of a flow rate of 200 l/min. Thanks to digitalization, the flow rate remains constant. This means that this dynamic, directly controlled piezo valve for inert gases doesn't have to be adjusted manually. It only takes milliseconds to precisely adjust the flow rates and their settings, and they remain tamper-proof. This provides users with the flexibility they need for their production processes. In addition, the VEFC allows them to continuously monitor processes since the flow rate and output pressure are always transparent.
Reliable protection of wafers
Reliably controlling the flow of inert gases such as nitrogen is particularly important in the semicon industry in order to avoid damaging wafers. By focusing on inert gases without media separation, the VEFC proves to be a favorable alternative to other solutions on the market when controlling nitrogen in load ports or EFEMs.
Economical, reliable, and precise N2 purging
Different flow rates can be controlled in the individual purge steps by having VEFC in the load port. It ensures that only the absolutely necessary amount of nitrogen is used, whether during pre-blowing, pre-purge, process purge and post-purge. Users thus save nitrogen and shorten the processing time until the dry shielding gas atmosphere has been reached.
Festo es un actor global y una empresa familiar independiente con sede en Esslingen am Neckar (Alemania). Desde sus inicios, Festo ha marcado pautas en la tecnología de automatización industrial y en la formación técnica, contribuyendo así al desarrollo sostenible del medio ambiente, la economía y la sociedad. La empresa suministra tecnología de automatización neumática y eléctrica a 300.000 clientes de automatización de fábricas y procesos en más de 35 sectores. El sector LifeTech, con la tecnología médica y la automatización de laboratorios, es cada vez más importante. Los productos y servicios están disponibles en 176 países de todo el mundo. En todo el mundo, unos 20.600 empleados en cerca de 60 países con más de 250 sucursales generaron unas ventas de aproximadamente 3.650 millones de euros en 2023. De esta cantidad, alrededor del 7% se invierte anualmente en investigación y desarrollo. En la empresa de aprendizaje, las medidas de formación y desarrollo representan el 1,5% de la facturación. Festo Didactic SE es un proveedor líder de educación y formación técnica y ofrece a sus clientes de todo el mundo soluciones integrales de aprendizaje digital y físico en el entorno industrial.
