Precise control of inert gases
Wherever inert gases need to be precisely controlled, the mass flow controller VEFC from Festo is the right choice. Thanks to piezo technology, it is compact and flexible, and offers an excellent price/performance ratio. It is especially suitable for use in electronics manufacturing, food production, and anywhere in machine building where shielding gas is required.
The mass flow controller VEFC from Festo is one of the most compact on the market, while capable of a flow rate of 200 l/min. Thanks to digitalization, the flow rate remains constant. This means that this dynamic, directly controlled piezo valve for inert gases doesn't have to be adjusted manually. It only takes milliseconds to precisely adjust the flow rates and their settings, and they remain tamper-proof. This provides users with the flexibility they need for their production processes. In addition, the VEFC allows them to continuously monitor processes since the flow rate and output pressure are always transparent.
Reliable protection of wafers
Reliably controlling the flow of inert gases such as nitrogen is particularly important in the semicon industry in order to avoid damaging wafers. By focusing on inert gases without media separation, the VEFC proves to be a favorable alternative to other solutions on the market when controlling nitrogen in load ports or EFEMs.
Economical, reliable, and precise N2 purging
Different flow rates can be controlled in the individual purge steps by having VEFC in the load port. It ensures that only the absolutely necessary amount of nitrogen is used, whether during pre-blowing, pre-purge, process purge and post-purge. Users thus save nitrogen and shorten the processing time until the dry shielding gas atmosphere has been reached.
Festo est à la fois un acteur mondial et une entreprise familiale indépendante basée à Esslingen am Neckar en Allemagne. Depuis ses débuts, Festo établit des normes en matière de technologie d'automatisation industrielle et de formation technique, contribuant ainsi au développement durable de l'environnement, de l'économie et de la société. La société fournit une technologie d'automatisation pneumatique et électrique à 300 000 clients d'automatisation d'usine et de processus dans plus de 35 industries. Le secteur LifeTech, avec la technologie médicale et l'automatisation des laboratoires, devient de plus en plus important. Les produits et services sont disponibles dans 176 pays du monde. Dans le monde entier, environ 20 600 employés dans environ 60 pays avec plus de 250 succursales ont généré un chiffre d'affaires d'environ 3,65 milliards d'euros en 2023. Sur ce total, environ 7 % sont investis chaque année dans la recherche et le développement. Dans l'entreprise apprenante, les mesures de formation et de développement représentent 1,5 % du chiffre d'affaires. Festo Didactic SE est l'un des principaux fournisseurs d'enseignement et de formation techniques et propose à ses clients du monde entier des solutions complètes d'apprentissage numérique et physique dans l'environnement industriel.
