Inerte Gase präzise steuern
Überall, wo inerte Gase präzise gesteuert werden müssen, ist der Massendurchflussregler VEFC von Festo genau richtig. Dank Piezotechnologie ist er kompakt sowie flexibel und zeichnet sich durch ein gutes Preis-Leistungs-Verhältnis aus. Prädestiniert ist er für den Einsatz in der Elektronikfertigung, bei der Nahrungsmittelherstellung und überall dort im Maschinenbau, wo Schutzgas benötigt wird.
Der Massendurchflussregler VEFC von Festo ist einer der kompaktesten am Markt – bei einem Durchfluss von 200 l/min. Dank Digitalisierung bleibt der Durchfluss konstant. Damit muss das dynamische, direkt gesteuerte Piezoventil für inerte Gase nicht von Hand nachgestellt werden. Die Durchflussraten und -einstellungen lassen sich in Millisekunden genau und manipulationssicher anpassen. Anwender sind damit flexibel in ihren Fertigungsprozessen. Mit VEFC kann der Prozess durch zeitgleiche Kenntnis von Durchfluss und Ausgangsdruck kontinuierlich überwacht werden.
Zuverlässiger Schutz von Wafern
Speziell in der Semicon-Industrie muss der Massenstrom von inerten Gasen wie Stickstoff zuverlässig geregelt werden, um Defekte auf Wafern zu vermeiden. Mit dem Fokus auf inerte Gase ohne Medientrennung erweist sich der VEFC bei der Regelung von Stickstoff in Loadports oder EFEMs als günstige Alternative zu anderen Lösungen am Markt.
Sparsames, sicheres und präzises N2-Purging
Mit VEFC im Loadport lassen sich unterschiedliche Durchflüsse in den einzelnen Purge-Steps regeln. Bei Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge und Post-Purge gewährleistet VEFC, dass nur die unbedingt notwendige Stickstoffmenge verbraucht wird. So sparen Anwender Stickstoff und verkürzen die Prozesszeit, bis die trockene Schutzgasatmosphäre erreicht ist.
Festo ist gleichzeitig Global Player und unabhängiges Familienunternehmen mit Sitz in Esslingen am Neckar. In der industriellen Automatisierungstechnik und technischen Bildung setzt Festo seit seinen Anfängen Maßstäbe und leistet damit einen Beitrag zu einer nachhaltigen Entwicklung von Umwelt, Wirtschaft und Gesellschaft. Das Unternehmen liefert pneumatische und elektrische Automatisierungstechnik für 300.000 Kunden der Fabrik- und Prozessautomatisierung in über 35 Branchen. Wachsende Bedeutung erhalten Bereiche wie Digitalisierung, KI sowie LifeTech mit Medizintechnik- und Laborautomation. Produkte und Services sind in 176 Ländern der Erde erhältlich. Weltweit rund 20.600 Mitarbeitende in rund 60 Ländern mit über 250 Niederlassungen erwirtschafteten 2023 einen Umsatz von ca. 3,65 Mrd. €. Davon werden jährlich rund 7 % in Forschung und Entwicklung investiert. Im Lernunternehmen beträgt der Anteil der Aus- und Weiterbildungsmaßnahmen 1,5 % vom Umsatz. Festo Didactic SE ist führender Anbieter in technischer Aus- und Weiterbildung und bietet seinen Kunden weltweit umfassende digitale und physische Lernlösungen im industriellen Umfeld an.
